半導体装置部品サプライヤー |高純度チタン、モリブデン、高融点金属の機械加工

半導体チップの製造ラインは、通常の金属を消費する非常に過酷な環境です。エッチング機のチャンバー内を流れるフッ素と塩素のガス、イオン注入プロセスでの最大 800 度の連続高温、真空コーティング装置での厳しい清浄度要件はすべて、従来のステンレス鋼材料の急速な劣化の原因となります。半導体装置メーカーにとって、高純度チタンと高融点金属の安定した応答性の高いサプライヤーを見つけることは、生産ラインの歩留まりを確保するために非常に重要です。{3}}この要望を踏まえて、中国スーパーテック株式会社は、チタン、モリブデン、タンタル、ニオブ、タングステンをカバーする包括的な金属サプライチェーンと加工システムを確立しました。

当社の運用モデルは単なる物質取引ではありません。これは、実際の生産上の課題に対処することを目的としたエンジニアリング サービスです。昨年の第 3 四半期、アジア太平洋地域のエッチング機メーカーは、深刻な歩留まりの変動に直面しました。- -フッ素ベースのプラズマの長期にわたる侵食-により、元の工場で元々構成されていたステンレス鋼ライナーにわずかな腐食が見られ、毎月数百枚のウェーハが廃棄されることになりました。お客様から緊急の注文が届きました。長い原材料調達サイクルを経る代わりに、Gr2 高純度チタンプレートを在庫から直接取り出しました。-通常の 0.5mm ～ 50mm の厚さのスポットリザーブを使用して、当社の 5 軸 CNC ワークショップはすぐに生産を開始し、チタン プレートを精密な空気穴を備えたガス スプレー ヘッドに加工し、24 時間以内に電解研磨処理を完了しました。部品の設置から 3 か月後のデータ統計によると、粒子汚染によるスクラップ率が 70% 減少し、顧客の生産歩留まりが 1.8 パーセントポイント増加しました。この 7 日間の迅速な納品は、半導体業界における緊急メンテナンス (PM) のためのスポット在庫の重要性を証明しました。

この迅速な応答能力は、高温耐性コンポーネントのアプリケーションでも実証されています。{0}ヨーロッパのイオン注入装置メーカーは、かつて技術的なボトルネックに遭遇しました。装置を 850 度で動作させると、元のコンポーネントが高温クリープを受け、その結果、イオン ビームの位置合わせ精度に偏差が生じました。-この状況に対処するために、私たちは、TZMモリブデン合金在庫。チタン元素とジルコニウム元素を含むこのモリブデン合金は、通常のモリブデンよりも 30% 以上高い高温強度を備えています。-私たちは、低速のワイヤー切断プロセスを使用して、非常に正確なビーム ストッパーを製造しました。{4} 1 年間の継続的な動作追跡の後、このコンポーネントのサイズは安定しており、変形も発生せず、高温下での顧客の機器の精度ドリフトの問題は完全に解決されました。

国内のミニ-LED 製造分野では、熱場の均一性がコストを決定する重要な要素です。 LEDエピタキシャル工場では、MOCVD装置の加熱構造を最適化する必要があります。 200 mm の純モリブデン円板を使用し、表面に精密な CNC 加工を施すことにより、同心円状のリング状の溝構造を作成します。{4}この設計は、1100 度の加熱および冷却プロセス中の熱変形の問題を解決するだけでなく、熱接触面積を大幅に増加させることで、エピタキシャル成長膜の厚さの均一性を大幅に向上させ、顧客の大規模量産の要件を満たします。-

これらの生産プロセスの迅速な完了は、中国超科技有限公司の確かな基礎能力によって支えられています。当社の倉庫には、Gr1/Gr2 高純度チタン、Gr7 耐食性チタン合金、TC4 チタン合金、Mo1 純モリブデン、TZMモリブデン合金、Ta1 純タンタル、Nb1 純ニオブ、W1 純タングステン。数ミリメートルの厚さのシートであっても、大径の丸棒であっても、十分な在庫があるため、標準製品は最速で 24 ～ 48 時間以内に出荷できます。-
材料の供給に加えて、原材料から完成品までのワンストップ加工サービスも提供しています。{0}同社は5軸CNC、放電加工などの設備を備えており、±0.005mmの公差管理を実現しています。同時に、電解研磨、超音波洗浄、真空アニール、真空包装を含む、SEMI規格に準拠した後処理生産ラインも備えています。-お客様は材料供給業者、加工工場、洗浄工場と別途おつなぎする必要がありません。単一のポイントを介して当社と接続するだけで、調達プロセス全体を完了できるため、通信コストと品質管理リスクが大幅に削減されます。