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タンタルスパッタリングターゲット

China Super Tech は、顧客のさまざまな要件を満たすために、タンタル スパッタリング ターゲットの純度と形状の幅広い選択肢を提供しています。

  • 製品説明

製品説明


China Super Tech は、顧客のさまざまな要件を満たすために、タンタル スパッタリング ターゲットの純度と形状の幅広い選択肢を提供しています。他の蒸着方法と比較して、スパッタリング膜は基板への密着性が優れており、タンタル (融点 2998 度) などの非常に高い融点を持つ材料を容易にスパッタリングできます。当社の製品は、平均粒径が小さく、純度が高く、密度が高いため、堆積プロセスで確実に機能するように特別に設計されています。

 

製品パラメータ

材料:RO5200、RO5400、RO5252(Ta-2.5W)、RO5255(Ta-10W)
標準:ASTM B708
純度:3N、3N5、4N、Ta 99.99%以上
形:丸型、四角型、カスタマイズ
サイズ:円形ターゲット:直径15mm~400mm×厚さ3mm~28mm
長方形ターゲット:厚さ1mm~40mm×幅~1000mm×長さ~3000mm
粒度:ASTM 4以上
平面度:0.1mmまたは最大0.15
許容範囲:すべての寸法で±0.010mm

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アプリケーション


スパッタリングターゲットは主に、集積回路、情報ストレージ、液晶ディスプレイスクリーン、レーザーメモリ、電子制御装置などの電子および情報産業で使用されます。ガラスコーティングの分野でも使用でき、耐摩耗性材料、高温耐食性、高級装飾品、その他の産業に応用できます。-

 

当社のタンタル スパッタリング ターゲットを選ぶ理由

 

強力な接着力: フィルムと基材の間のより強力な接着を保証します。
幅広い適用性: さまざまな高融点材料に適しています。{0}}-
安定した性能:粒子サイズが小さく、高純度、高密度。
多様な選択: さまざまな顧客のニーズに対応します。

 

よくある質問

 

よくある質問

Q: タンタルターゲットは接着する必要がありますか?

A: はい、間違いなくそうです。
タンタル ターゲットは、平らな平面のターゲットであっても、回転するターゲットであっても、非常に薄く、脆く、かなり高価であることがよくあります。-。適切にサポートされていないと、スパッタリング中に簡単に亀裂が発生する可能性があります。そのため、これらを銅またはアルミニウムのバッキング プレートに接着しています -。これにより、スパッタリング プロセス中にひび割れが防止され、熱の放散が大幅に向上します。それは彼らに仕事をするための頑丈な基盤を与えるようなものです。

Q:どれくらい持続しますか?

A: ターゲットは消耗品とみなされ、その寿命はスパッタリングパワー、冷却効率、ターゲットの厚さによって決まります。冷却水を適切にメンテナンスし、完全に平坦なカソード面を確保することが、ターゲットの寿命を最大化し、破損を防ぐ鍵となります。

 

 

 

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